SPUTTER-COATING
FOR ON POWDER

真空事業

粉体スパッタリング装置

粉体スパッタ装置について

近年、リチウムイオン電池等の二次電池や燃料電池の性能、安全性向上と低コスト化を進める動きが活発になり、二次電池等の原料である微粒子に成膜することで性能を向上するアプローチがなされています。多様な材料を高純度で成膜するにはスパッタ等の乾式が有利とされ、平板上への成膜には広く用いられています。一方、微粒子上に均一に成膜するには、微粒子分散が必要となりますが、乾式では微粒子分散が技術的に難しいとされていました。このために、従来は材料の自由度や成膜物の純度の高さ、廃液を出さないといった乾式の利点を微粒子上成膜に活かす術がありませんでした。
本装置では、独自の撹拌機構により乾式における良好な微粒子分散をおこない、均一かつ乾式の特長を活かした微粒子上成膜を実現しました。
これまでに自動車メーカーや電池材料業界、エレクトロニクス業界の大手企業各社からお引き合いを頂き、サンプル持ち込みによる成膜実演の実績が多数ございます。成膜結果についても高評価を頂いており、本装置の導入によって二次電池等の応用であるスマートハウスや燃料電池車などの省エネルギー製品の普及が実現でき、環境負荷低減のほか、業界の発展を通じた雇用拡大につながると考えられます。
今後はナノ粒子上成膜や、粉体上の膜厚制御技術の確立を進めることで、さらに幅広い粉体への対応をはかるとともに、成膜した微粒子を評価して頂きやすいようにして参ります。

MULTI ASSIST SPUTTER-COATING

粉体スパッタ装置

粉体スパッタ装置とは

直径数μmまでの粉の表面に真空・プラズマを使って、薄膜をコーテイングする装置です。粉体材料の劣化防止や粉体表面の電気伝導性の制御、希少材料の薄膜化による省資源化などへの応用が期待できます。

粉体スパッタ装置の特徴

01
撹拌機構で均一な成膜
粉体を入れた容器(バレル)のスイングと、アームの揺動で撹拌
02
化学反応不要
真空中で成膜するので湿式法の課題を解決
03
高純度で密着性の高い成膜
薄膜と粉体材料の組み合わせに自由度が高い

粉体スパッタリング装置を用いた受託成膜

弊社技術研究所では粉体スパッタリング装置のデモ実験機を保有しております。
お客様のご依頼サンプルによる受託成膜、立会実験にも対応致します。
詳細はお問合せください。

従来の技術との比較

応用性の広がり

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